Techniklexikon

MIC

Engl. Abk. für microwave integrated circuit, integrierte Mikrowellenschaltung. Integrierte Schaltung (IS, hybridintegrierte) für Anwendungen in der Mikrowellentechnik. MIC sind i. allg. in Dünnschichttechnik (Hybrid-Technik) aufgebaut und weisen folgende gemeinsame Konstruktionsmerkmale auf: Träger der IS ist ein Substrat aus A1203- oder Be203-Keramik (seltener aus Quarz oder Saphir). Auf diesen Träger werden mittels fotolithografischer Verfahren (Lithografie) Streifenleiter aus Gold aufgebracht (Streifenleitungstechnik). Während aktive Bauelemente (Transistoren, Dioden) und Kondensatoren (Keramik-, MIModer MIS-Aufbau) als Nacktchips in das Schaltungsmuster eingefügt werden müssen, lassen sich die anderen passiven Bauelemente direkt auf dem Substrat herstellen (Widerstände, Kondensatoren, Induktivitäten). Die Verkappung erfolgt in hermetisch dichten Gehäusen aus Metall oder Keramik. Die MIC-Technik weist bei vielen Mikrowellenbaugruppen gegenüber diskretem Aufbau ökonomische Vorteile auf (Kosten, Zuverlässigkeit), ermöglicht aber auch höhere Arbeitsfrequenzen. Im Vergleich zu MMIC hat sie vor allem konstruktive Vorzüge: Je nach Funktion und Frequenzbereich können die aktiven Bauelemente nach optimalen Gesichtspunkten ausgewählt werden und sind nicht an eine spezielle Bauelemente- oder Schaltungstechnik gebunden. Zur Verfügung stehen bipolare Siliciumtransistoren und GaAs-FET sowie Gunn-, IMPATT, Schottky-, Varaktor- oder pin-Dioden, die mittels geeigneter Montagetechniken (Beam-Lead- oder Flip-Chip-Technik) und Bondverfahren (Chipbondung mit leitfähigen Epoxidharzen sowie Gold-Drahtbondung) nach der kollektiven IS-Fertigung einzeln in die Schaltung eingesetzt werden können. MIC werden bereits bis zu Arbeitsfrequenzen oberhalb 100 GHz eingesetzt und erfassen zunehmend alle Mikrowellenbaugruppen: Breitband- und Leistungsverstärker, Oszillatoren, Mischer und Modulatoren, Frequenzumsetzer, Sender (Transmitter), komplette Mikrowellenempfänger (Receiver Front End) sowie weitere Subsysteme für die Nachrichten- und Radartechnik.