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Hybrid-Technik

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Julian Schultheiss

Zusammenfassende Bezeichnung för eine Reihe von Techniken, bei denen mit unterschiedlichen Herstellungsverfahren erzeugte Bauelemente zu einer Funktionseinheit, der Hybrid-IS, vereint werden. Die gebräuchlichste Form der H. ist das Einsetzen (Befestigung und Kontaktierung) diskreter Bauelemente (Transistoren, Dioden, teilweise auch Kondensatoren) undoder monolithischer IS (IS, monolithische) in eine Schichtschaltung, die das Leitungssystem einschließlich einiger zusätzlich benötigter Widerstände und Kondensatoren bildet (Schicht-Hybridtechnik). Die in die Schichtschaltung eingesetzten Bauelemente müssen dafür geeignete äußere Abmessungen und Anschlüsse haben. Sie können sowohl mit Gehäuse als auch als Chip eingesetzt werden. Ist die Schichtschaltung eine Dünnschichtschaltung, so spricht man von Dünnschicht-H. ; bei einer Dickschichtschaltung von Dickschicht-H. Eine weitere geläufige Form der H. ist die Multichip-Hybridtechnik, bei der mehrere gehäuselose Halbleiterschaltungen mit jeweils separatem Substrat (Chip) auf einem gemeinsamen Träger zu einer größeren Funktionseinheit verbunden werden. Da der gemeinsame Träger neben anderen Formen (z. B. Boden von Transistor- oder IS-Gehäusen) auch eine Schichtschaltung sein kann, gibt es fließende Grenzen zwischen den Begriffen der Schicht-H. und der Multichip-H. Die Hybrid-IS gilt nach ihrer Fertigstellung (Verkappen) selbst wieder als Bauelement, so daß die eingesetzten Bauelemente dann zu H» Funktionselementen dieser Hybrid-IS werden. Mit Hilfe der H. kann man die Vorteile verschiedener Herstellungstechnologien zur Erzielung spezieller technischer Parameter bei den jeweiligen Funktionselementen nutzen und so Eigenschaften der Hybrid-IS erzielen, die mit den monolithischen Techniken (Bipolartechnik, Unipolartechnik) bzw. den Schichttechniken allein z. Z. nicht erreichbar sind. Die H. wird auch dann vorteilhaft eingesetzt, wenn der Bedarf für komplexere IS so gering ist (kleiner 1000 Stück), daß eine Entwicklung als monolithische IS zu kostenaufwendig ist.

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