Techniklexikon

Zyklus 0

Zusammenfassende Bezeichnung für die Folge technologischer Teilschritte, die bei der Her Stellung von unstrukturierten Halbleitereinkristallscheiben f Scheibe) ausgeführt werden. Der Z. 0 umfaßt alle Teilschritte der Kristallzüchtung und der mechanischen Kristallbearbeitung. Er endet mit der Bereitstellung von polierten Einkristallscheiben definierter Größe und Dicke sowie mit definierter Kristallorientierung, die als Ausgangsmaterial für die Bauelementeherstellung im Zyklus I dienen. (In manchen Einteilungen wird darüber hinaus auch der Schaltungsentwurf zum Z. 0 gezählt.) Im einzelnen umfaßt der Z. 0 folgendeSchritte: • die Herstellung eines hochreinen polyknstallinen Ausgangsmaterials für den Halbleiterwerkstoff, z. B. von Polysilicium. die Züchtung von einkristallinen Halbleiterstäben (Einkristall) aus dem polykristallinen Ausgangsmaterial. das Trennen der Einkristalle in einzelne Scheiben durch Schneiden oder Sägen, die Oberflächenbearbeitung der einzelnen Scheiben zur Verbesserung der Oberflächenqualität durch Läppen und Polieren sowie die Markierung der Scheibenorientierung durch Anschleifen einer Fase.