Techniklexikon

Zyklus

Bauelementefertigungszyklus. Zusammenfas sende Bezeichnung för die Gesamtfolge tech nologischer Teilschritte, die bei der Herstellung von mikroelektronischen Bauelemen ten ausgeführt werden. Zur Herstellung von mikroelektronischen Bauelementen sind vier verschiedene Prozeß-folgen erforderlich, die als Zyklus 0 bis III bezeichnet und nacheinander durchlaufen werden müssen. Im weiteren Sinne sind auch der Schaltungsentwurf einschl. der Schaltungssimulation und die Herstellung der Schablonen, mit denen die Erzeugung der Bauelementstrukturen erfolgt, Bestandteil des Bauelementefertigungszyklus. Im Modellbau: Bezeichnung für einen Lade- und Entladevorgang bei Akkumulatoren. Die Zahl der erreichbaren Z. eines Akkumulators ist ein Maß für dessen Lebensdauer. Bei Teilentladungen erhöht sich die Z. zahl auf das Doppelte bis Vielfache gegenüber Vollentladung.