Techniklexikon

Scheibe

Halbleiterscheibe, engl. slice, scheibenförmiger, 0, 3 bis 0, 5 mm dicker Halbleiterkristall (Halbleiter). Halbleiterscheiben werden im -? Zyklus 0 aus einem stabförmigen Einkristall geschnitten und dienen als Ausgangsmaterial für die Herstellung von Chips im Zyklus I. Je nach dem zugrunde liegenden Kristallzüchtungsverfahren sind sie rund, oval oder trapezförmig. Während Siliciumscheiben Durchmesser bis 150 mm aufweisen, sind S. aus anderen Halbleiterwerkstoffen wesentlich kleiner. Der Durchmesser von Halbleiterscheiben ist parallel zur Entwicklung der Mikroelektronik ständig gewachsen. Der Einsatz größerer S. bringt generell eine Senkung der Bauelementekosten mit sich (Gesetz, Mooresches), da die Anzahl der daraus hergestellten Chips entsprechend steigt. (Übliche Siliciumscheiben enthalten 100 bis 500 Chips.) Im Zyklus I wächst die Fertigungsproduktivität P fast quadratisch mit dem Scheibendurchmesser d (P = d2), vorausgesetzt, daß die technischen Parameter gleich bleiben. Allerdings erreichen größere S. i. allg. nicht die Kristallperfektion, Reinheit, Homogenität und Baufehlerfreiheit (Versetzung), wie sie bei kleineren Durchmessern vorliegen. Dadurch wird die Ausbeute an guten Chips teilweise verringert. Hinzu kommt, daß die Anlagen zur Verarbeitung größerer S. wesentlich teurer sind. Biographien, Adolf, deutscher Physiker, *9.3.1895 Zeulenroda; †20.4.1958 Berlin. Nach dem Abitur in Plauen, Studium der Mathematik und Physik in München und Jena, das durch den ersten Weltkrieg unterbrochen wurde; 1923 Promotion mit »Untersuchungen über die Erzeugung sehr kleiner Wellen« bei M. Wien in Jena, anschliessend dort Assitent, ab 1925 Mitarbeiter der Physikalisch-Technischen Reichs- bzw. Bundesanstalt (PTB), ab 1928 Leiter des Hochfrequenzlaboratoriums, 1951 Direktor der Abteilung Elektrizität, 1955 Vize-Präsident; führend am Wiederaufbau der PTB in Braunschweig beteiligt.

Bedeutende Arbeiten zur Erzeugung hochfrequenter Schwingungen in Quarzstäben, die 1932 zum Bau der ersten Quarzuhr in Deutschland führten. Die hohe Ganggenauigkeit seiner Quarzuhren erbrachte den Nachweis der jahreszeitlichen Schwankungen der Erdrotation (1936) und führte zur Einführung eines neuen Zeitnormals; weiterhin Forschungen zur Entwicklung von Atomuhren.