Techniklexikon

VLSI

(Very High Scale Integration) Chip In der Elektronik: Engl. Abk. für very large scale Integration, (Höchstintegration). Zusammenfassende Bezeichnung für IS mit höchstem Integra tionsgrad. VLSI-Schaltungen umfassen integrierte Schaltungen mit über 100000 Funktionselementen (FE) bzw. über 20000 äquivalenten Gatterfunktionen (Gate). Zu ihnen gehören hauptsächlich Halbleiterspeicher und » CCD-Matrizen, aber auch Mikroprozessoren und Signalprozessoren. Die erreichten Packungsdichten liegen bei 20000 FE mm2 für unipolare IS und 2000 FEmm2 für bipolare IS, wozu Streifenbreiten unter 2 m erforderlich sind. VLSI-Bausteine werden erst seit etwa 1980 hergestellt und setzen modernste und kostenaufwendige Fertigungsverfahren voraus: Die - Dotierung erfolgt weitestgehend mit – Implantationsverfahren, zur Schichtabscheidung sind Nieder-druckplasma-CVD (CVD) und Sputter-techniken unumgänglich. Die Strukturerzeugung erfolgt mit Hilfe von Elektronenstrahl-lithografie bzw. Projektionsbelichtung sowie mit Trockenätzverfahren (lonenstrahl-ätzen und Plasmaätzen; Zyklus I). Besondere Anforderungen werden an die Test- und Prüfverfahren gestellt (Zyklus III). Das TestenPrüfen hochintegrierter IS ist generell sehr aufwendig und verursacht bei der Herstellung von VLSI-Schaltungen den größten Kostenanteil. Elektronik, Halbleiterphysik Very Large Scale Integration.