Zusammenfassende Bezeichnung für die Folge technologischer Teilschritte, die beim Testen und Prüfen der fertiggestellten Bauelemente ausgeführt wird. Der Z. III umfaßt zum einen diejenigen Test- und Prüfverfahren, die zur Überprüfung, Charakterisierung und Klassifizierung der fertigen, verkappten Bauelemente erforderlich sind (Bauelementeprüfung). Dazu gehören des weiteren Methoden der Qualitätskontrolle (Überwachung der Fertigungsprozesse im Zyklus I und Zyklus II) sowie zur Zuverlässigkeitsprüfung (Zuverlässigkeit). Zum Z. III rechnen das Prüfen der Bauelemente auf ihre Funktionsfähigkeit (Funktionstest), die stichprobenartige Überprüfung der statischen und dynamischen Bauelementeparameter (Parameter), für bestimmte Einsatzfälle die 100%ige Überprüfung bzw. Ausmessung der Bauelementeparameter, Verfahren zur Überprüfung von Lebensdauer und anderen Zuverlässigkeitsparametern mit Hilfe von thermischen, elektrischen und weiteren Belastungstests, die Auswahl und Kennzeichnung der Bauelemente, insbesondere hinsichtlich ihrer Einsatzbedingungen (Temperatur- und Zuverlässigkeitsklassen usw.), sowie die Analyse von Ausfällen und die Untersuchung der Fehlerursachen von bereits eingesetzten Bauelementen und die Rückkopplung der Daten mit den jeweiligen Fertigungsschritten.
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