Techniklexikon

Strahlungssensor

Sensor, der Strahlung erfaßt und in eineelektrische Größe wandelt.S. werden nach der Wellenlänge der zu erfassenden Strahlung eingeteilt. Auf Halbleiterbasis wurden S. bisher für den Infrarotbereich (X = 780 nm... 1 mm) (Infrarotsensor), für den sichtbaren Bereich (X = 380...780 nm) (Sensor, optoelektronischer) und für den Bereich der ionisierenden Strahlung (X < 200 nm) entwickelt. Zum Erfassen weicher Betastrahlen von Tritium eignet sich z. B. ein modifizierter MOSFET, dessen elektrische Kenndaten sich ändern, wenn die ionisierende Strahlung durch den dünnen Gatekontakt aus Metall in die Gate-Isolationsschicht eindringt. Die Schwellspan-nungsverschiebung ist dann ein Maß für die absorbierte Dosis der Strahlung. Auch spezielle Silicium-Planar-Dioden mit pin-Struk-tur (pin-Diode), aus deren i-Schicht auftreffende geladene Teilchen oder Quanten Ladungsträger herauslösen, sind zur Erfassung ionisierender Strahlung geeignet.