Techniklexikon

Sensor

Eng!., Fühler. Meßfühler. Meßwertaufnehmer. Bauelement, das eine nichtelektrische Größe aus der Umwelt aufnimmt und in eine elektrische Größe wandelt. S. haben die Aufgabe, den Istzustand einer bestimmten physikalischen Größe aus dem Prozeß zu erfassen und ihn in Form eines elektrischen Signals weiterzumelden. Das elektrische Signal muß so beschaffen sein, daß es von nachfolgenden elektrischen Schaltungen weiterverarbeitet, z. B. verstärkt oder verformt werden kann. Moderne S. sind oft aus den gleichen Werkstoffen und nach den gleichen Technologien hergestellt wie die an den S. anzuschließenden signalauswertenden und signalverarbeitenden elektrischen Schaltungen. Die am häufigsten angewendeten Technologien sind die Halbleitertechnologie, die Sintertechnologie, die Dünnschichttechnologie, die Folienschicht-technologie, die Dickschichttechnologie und die Glasfasertechnologie. Mit der Entwicklung der Mikroelektronik entstanden auch an die Mikroelektronik anpaßbare (mikroelektronikkompatible) S., die hauptsächlich mit Verfahren der Halbleitertechnik (Halbleiterblocktechnik) hergestellt werden (Halbleiters.). Oft sind S. so aufgebaut, daß sie neben dem wandelnden Element (Elementarsensor) auch die Auswerteelektronik oder signalweiterverarbeitende Schaltungen enthalten. Diese können z. B. in dem Sensorchip (Chip) integriert oder, mit anderen Technologien gemischt, in Hybrid-Technik verarbeitet sein. Derartige Systeme werden auch als intelligente S. (Sensor, intelligenter) bezeichnet. S. werden oft nach der aufzunehmenden nichtelektrischen Größe benannt, wie Temperatursensor, Drucksensor oder Feuchtesensor. Seltener sind Bezeichnungen nach dem wandelnden Prinzip, wie Hall-Sensor üblich. In jüngster Zeit sind auch S. entwickelt worden, die gleichzeitig mehrere nichtelektrische Größen aufnehmen und in elektrische Signale wandeln können (Multisensor).