Techniklexikon

Entgasung

Vakuumtechnik, in der Vakuumtechnik das Freisetzen von an der Oberfläche von Bauteilen adsorbierten (Desorption) oder in ihnen absorbierten Gasmolekülen (Ausgasung). Der Begriff bedeutet dabei sowohl das unfreiwillige Entgasen aller Werkstoffe als auch das gezielte Entgasen, z.B. durch Ausheizen, spezieller Bauteile. Auch das Freisetzen von leicht flüchtigen Kohlenwasserstoffen, z.B. aus dem Treibmittel bei Öl-Diffusionspumpen, wird als Entgasen bezeichnet.

Im Grobvakuum beeinflusst die Entgasung die Auspumpzeit und den Arbeitsdruck i.a. nicht, im Feinvakuum nur gering (p > 0,1 Pa = 10^-3 mbar). Im Hochvakuum und im Ultrahochvakuum (UHV) dagegen wird insbesondere die Pumpzeit durch unkontrollierte Entgasungen erheblich verlängert, so dass die Ad- und Absorbate für Messungen im UHV durch Ausheizen vor der Messung möglichst vollständig entfernt werden müssen. Die Entgasungsstromdichte »sauberer« Metall-, Glas- oder Keramikoberflächen j_ent liegt typischerweise bei 10 Pa · m³ · s^-1 · m^-2 = 10^-4mbar · l · s^-1 · m^-2.