Ultrahochvakuum

Autor:
Karl-Wilhelm Steinfieber

Vakuumtechnik, der niedrigste der Vakuumtechnik zugängliche Druckbereich mit Drücken unter 10^-⁵ Pa (10^-⁷ mbar). Im Ultrahochvakuum muss besonders auf extrem kleine Leckraten und Entgasungsströme sowie eine verschwindende Pumpenrückwirkung geachtet werden. Für diesen Druckbereich geeignete Vakuumpumpen sind Turbomolekularpumpen, Ionengetterpumpen, Titan-Verdampferpumpen, Kryopumpen und Adsorptionspumpen.

Vorhergehender Fachbegriff im Lexikon:

Ultra Large Scale Integration

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ultrakalte Neutronen

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