der Druckbereich zwischen 10-1 und 10-5 Pa (10-3 und 10-7 mbar), in dem bereits überwiegend molekulare Strömung auftritt. Die mittlere freie Weglänge liegt bei 0,1-103 m. Im Hochvakuum spielen Entgasungsvorgänge eine wichtige Rolle (Entgasung), sie erhöhen u.a. die Auspumpzeiten erheblich. Die niedrigsten erreichbaren Drücke liegen im Ultrahochvakuum.
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