Techniklexikon

Arbeitsschablone

Schablone fiir den Einsatz beim Kontakt-und Abstandsbelichten (Fotolithografie). Die A. entsteht als Kontaktkopie der Originalschablone. Sie wird zur Kontakt- und zur Abstandsbelichtung (Fotolithografie) von lackbeschichteten Halbleiterscheiben eingesetzt. Besonders bei der Kontaktbelichtung ist die Standzeit der A. gering. Durch den intensiven Kontakt mit der Scheibe entstehen sowohl auf der Scheibe als auch in der A. Defekte, so daß sie nach etwa lOmali-ger Verwendung ausgewechselt wird. A. werden als Fotoemulsions- und als Metallschablonen gefertigt.