Techniklexikon

Metallschablone

Schablone für die Fotolithografie, deren informationstragende Schicht eine dünne Metallschicht ist. Die Metallschicht wird durch Sputter-oder Aufdampftechnik auf den Glasträger aufgebracht. Anschließend wird Fotolack aufgetragen. Nach dessen Belichten und Entwickeln wird die Metallschicht geätzt. Danach wird der Fotolack wieder entfernt. Als Werkstoffe werden meist Eisenoxid oder Chrom verwendet. Aufgrund der geringen Dicke der informationstragenden Schicht von einigen zehntel Mikrometer besitzen M. eine größere Kantenschärfe und eine geringere Lichtbeugung an den Strukturkanten als Fotoemulsionsschablonen, so daß auch im industriellen Einsatz Strukturgrößen von 1 m mittels Kontaktlithografie erreicht werden.