Techniklexikon

Feuchtesensor

Chemischer Sensor Sensor, chemischer), der den Wassergehalt von festen, flüssigen oder gasförmigen Stoffen erfaßt und in eine elektrische Größe wandelt. Es haben sich unterschiedliche Verfahren (z. T. auf Halbleiterbasis) durchgesetzt, die aber fast einheitlich auf die Kapazitätsänderung des Dielektrikums einer Kondensatoranordnung in Abhängigkeit von der Feuchte zurückzuführen sind. Verbreitet sind Kondensatoranordnungen, deren eine Elektrode aus Gold, die andere aus Aluminium und das Dielektrikum aus Aluminiumoxid besteht. Die Anzahl der durch den Goldbelag diffundierten und vom Aluminiumoxid adsorbierten Wassermoleküle beeinflußt die elektrische Leitfähigkeit der Anordnung. Auch Dünnschichtanordnungen mit Polymerfolien als Dielektrikum sind üblich. F. werden in der Meteorologie, MSR-Technik, Klimatechnik und zunehmend in der Konsumgüterindustrie und Kfz-Technik eingesetzt.