Festkörperphysik, Elementanalyse, bei der eine Probe mit Photonen oder Teilchen geeigneter Energie bestrahlt wird, um die Atome in der Probe zur Ausstrahlung charakteristischer Röntgenstrahlung (Fluoreszenz) zu bewegen. Die Methode ist zerstörungsfrei.
Die Energien und Intensitäten der emittierten Linien werden aufgezeichnet und die Elementzusammensetzung der Probe durch die Energien der Spektrallinien bzw. durch ihre Wellenlängen qualitativ analysiert. Die zugehörigen Intensitäten der Resonanzlinien werden zur quantitativen Konzentrationsanalyse verwandt.
Mit Röntgenfluoreszenzanalyse werden Festkörper, Pulverproben, dünne Folien oder Filme sowie Flüssigkeiten untersucht. Weder der Kristallzustand noch die chemische Bindung beeinflussen normalerweise die Analyse. Alle Elemente oberhalb der Atomzahl 12 lassen sich routinemässig im Konzentrationsbereich 0,1-100 Gewichts-% analysieren. Für Elemente niedrigerer Atomzahl werden spezielle Techniken angewandt. Nur für Spurenanalysen liegt die Messzeit oberhalb weniger Minuten. Die mit Röntgenfluoreszenzanalyse gewonnenen Ergebnisse zeigen gute Übereinstimmung mit anderen Analysemethoden.
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