Techniklexikon

nukleare Mikroprobenanalyse

Laboratoriumsmethoden und -geräte, rastermikroskopisches Verfahren zum Nachweis des oberflächennahen Elementgehalts von Proben. Bei der nuklearen Mikroprobenanalyse wird ein fokussierter Teilchenstrahl über eine Probe gerastert. Meist werden dabei Protonen mit Energien zwischen 2 und 4 MeV verwendet. Dabei wird im oberflächennahen Bereich charakteristische Röntgenstrahlung erzeugt. Das Verfahren ist recht ähnlich dem Verfahren der Elektronen-Mikrosonde, ermöglicht aber eine Nachweisempfindlichkeit, die mit 1-10 ppm um einen Faktor 10-100 besser ist als die der Elektronen-Mikrosonde. Der Grund liegt vor allem in einem weit geringeren Untergrund durch Bremsstrahlung. Die nukleare Mikroprobenanalyse ist ein zerstörungsfreies Verfahren.