Techniklexikon

Elektronen-Mikrosonde

Festkörperphysik, Methode zur spektralchemischen Analyse von Substanzen, mit der die räumliche Verteilung der Elemente qualitativ und quantitativ bestimmt werden kann. Die Elektronen-Mikrosonden-Röntgen-Analyse wurde 1949 von R. Castaing und A. Guinier eingeführt. Mittels Elektronenbeschuss werden in der Probe Röntgenstrahlen erzeugt, aus deren Wellenlängen- und Intensitätsverteilung die vorhandenen Elemente identifiziert und ihre Konzentrationen bestimmt werden.

Der Gebrauch präzise fokussierter Elektronenstrahlen macht die chemische Analyse sehr kleiner Gebiete möglich. Typischerweise haben die Elektronen kinetische Energien von 10-30 keV, womit sie Eindringtiefen um 1 mm erreichen. Die laterale Ausbreitung ist von derselben Grössenordnung. Eine adäquate Korrekturrechnung ist nötig, um Targeteffekte wie Elektronen-Retardation, Elektronen-Rückstreuung, Fluoreszenz-Erhöhung etc. zu elimieren.

Elektronen-Mikrosonde: Prinzip.