Techniklexikon

Fotoemulsionsschablone

Schablone für die Fotolithografie, deren informationstragende Schicht eine Fotoemulsion ist. Die F. entsteht durch Belichten und Entwik-keln (wie in der Fotografie) der auf einem Glasträger aufgebrachten Fotoemulsion. Diese etwa 5 m dicke Schicht beeinträchtigt durch Beugung des Lichts beim ™ Belichten die Übertragung von Strukturen kleiner 5 m. Darum und wegen der höheren Kratzfestigkeit werden oft Metallschablonen verwendet.