Techniklexikon

Ionengetterpumpe

eine Sorptionspumpe, in der die zu evakuierenden Gasteilchen ionisiert und dann mit Hilfe eines elektrischen und/oder eines magnetischen Feldes zum Getter (Material zur Verbesserung bzw. Aufrechterhaltung des Vakuums) geführt werden. Sie dienen vor allem zum Abpumpen von chemisch inerten bzw. inaktiven Gasen (z.B. Edelgase), die mit herkömmlichen Getterpumpen nicht aus dem Vakuumbereich entfernt werden können. Zur Ionisation der Gasteilchen werden eine Glühkathode und eine Anode in die Getterpumpe eingebaut; die durch Stossionisation mit den Elektronen entstehenden positiven Ionen werden dann zur Getterschicht hin beschleunigt, welche auf negativem Potential liegt. Je nach Art der Schichtbildung und der Ionisierungsvorrichtung unterscheidet man Ionenverdampferpumpen und Ionenzerstäuberpumpen. (Vakuumpumpen)