Techniklexikon

Halbleitersensor

Sensor, der überwiegend aus Halbleiterwerkstoffen aufgebaut ist und der die spezifischen Eigenschaften dieser Halbleiterwerkstoffe zur Wandlung einer nichtelektrischen Größe in eine elektrische Größe nutzt. Die Entwicklung von H. steht international erst am Anfang. Am weitesten entwickelt sind Drucksensoren, Temperatursensoren, Magnetfeldsensoren und optoelektronische Sensoren (Sensor, optoelektronischer), da sich diese für viele meßtechnische Aufgaben einsetzen und sich mit den Verfahren der Halbleitertechnik verhältnismäßig leicht und billig herstellen lassen. H. können problemlos an elektronische Meßwertverarbeitungssysteme angeschaltet werden, d. h., sie sind mikroelektronikkompatibel. Deshalb haben sie konventionelle Meßwertaufnehmer für viele Anwendungszwecke bereits verdrängt und viele neue Einsatzgebiete erschlossen. Auch für andere nichtelektrische Größen, wie Feuchte (Feuchtesensor), Stoffzusammensetzung (Gassensor), ionisierende Strahlung (Strahlungssensor) und Ionenkonzentration (ISFET-Sensor), sind H. bereits im Einsatz. Gebräuchliche Halbleiterwerkstoffe für die Herstellung von H. sind Monosilicium (Silicium), Poly-silicium, Galliumarsenid, bestimmte Metalloxide, wie Zinnoxid, sowie spezielle organische Substanzen.