Lat. dotare, ausstatten. Chemisches Element, das bei seinem Einbau in den Halbleiter dessen Leitfähigkeit verändert. D. werden unterschieden in Akzeptoren, die p-Leitung (Ladungsträger) erzeugen, und Donatoren, die n-Leitung erzeugen. Die Leitfähigkeit an einem bestimmten Ort des Kristalls wird durch die Differenz aus Akzeptor- und Donatorkonzentration bestimmt. Als Donatoren werden in der Sili-ciumtechnik bevorzugt Phosphor, Arsen und Antimon eingesetzt, als Akzeptoren Bor, Gallium und Indium. Das Einbringen von D. in den Halbleiter wird als Dotierung bezeichnet. Nur D. auf Gitterplätzen sind elektrisch wirksam. Durch unterschiedliche Atomradien von D. und Halbleiteratomen und Einbau von D. auf Zwischengitterplätzen entstehen Spannungen im Kristall, die bei Zufuhr von Wärme zur Bildung von Versetzungen führen können.
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