Techniklexikon

Diffusionskoeffizient

Maß für die Geschwindigkeit der Bewegung der Dotanten im Halbleiter bei der Diffusion. Bezüglich des D. werden langsam (übliche Dotanten) und schnell (Wasserstoff, Helium, Nickel, Gold) diffundierende Elemente unterschieden. Die Größe des D. hängt sowohl vom Halbleitermaterial und dessen Kristallorientierung als auch vom Dotanten ab und nimmt mit der Temperatur stark zu. Dabei den üblichen Diffusionstemperaturen die Dotanten ionisiert vorliegen, wird der D. auch von den daraus resultierenden elektrischen Feldern beeinflußt. Der D. ändert sich auch bei hohen Konzentrationen der Dotanten und bei Strahlenschäden, z. B. durch Ionenimplantation. Diffusionskonstante D, Diffusion.