Debyescher Wärmefaktor, ein bei der Streuung (Beugung) von Röntgen-, Elektronen- oder Neutronenstrahlen an Kristallen in den Wirkungsquerschnitt eingehender Faktor, der die Wahrscheinlichkeit dafür bestimmt, mit der End- und Anfangszustand der thermischen Gitterschwingungen beim Streuprozess zusammenfallen. Er ist also ein Mass dafür, wie stark der Schwingungszustand des Kristallgitters bei der Streuung durch Phononenanregung verändert wird, und er beschreibt die Temperaturabhängigkeit der Intensität der an Phononen gestreuten Teilchen (er hängt exponentiell vom Kehrwert der Temperatur ab). Diese Bedeutung hat der Debye-Waller-Faktor auch beim Mössbauer-Effekt.
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