Techniklexikon

Volumenstromsensor

Durchflußsensor. Strömungssensor. Sensor, der die Geschwindigkeit gasförmiger oderflüs siger Ströme erfaßt und in ein elektrisches Signal wandelt. Neben konventionellen Verfahren zur Volumenstrommessung, wie Messungen mit Schwebekörpern, mit Ultraschall, mit Ringkolbenzählern oder magnetisch-induktiv, wurden in jüngster Zeit >. auf Halbleiterbasis ( Halbleitersensor), speziell Silicium, entwickelt. Prinzipiell ist ein Halbleiter-V. eine integrierte Widerstandsstruktur, die elektrisch geheizt wird. Wird der zu messende Volumenstrom am V. vorübergeführt, kühlt sich der Sensor ab. Die dem V. entzogene Wärme ist ein Maß für die Geschwindigkeit der Strömung. Ordnet man den V. in einer Brückenschaltung mit einem Temperatursensor an, erhält man eine von der Strömungsgeschwindigkeit linear abhängige Ausgangsspannung. Auf dem Sensorchip (Chip) ist auch die Auswerteelektronik integrierbar. Mit derartigen V. lassen sich Volumenströme im Bereich von 0,2 bis 2-104 cm3 je min erfassen.