Techniklexikon

Ultra Large Scale Integration

Elektronik, Halbleiterphysik, ULSI, Synonym für sehr hohe Integrationsdichte aktiver Bauelemente auf einem Chip (Wafer). Üblicherweise spricht man von ULSI, wenn die Bauelementdichte in den Bereich von 1 Million Bauteilen pro Chip gelangt. Typische, lithographisch definierte Strukturbreiten auf dem Chip liegen hier bereits deutlich unter einem halben Mikrometer. Hierfür sind ausgefeilte lithographische Verfahren, spezielle Maskentechniken und nachfolgende Prozessschritte erforderlich. ULSI Prozesse erfordern darüber hinaus extreme Reinheit der Produktionsstätten (sog. Reinräume). ULSI steht sozusagen für die Nachfolgerin der Very Large Scale Integration (VLSI).