Auswahl von Bauelementen nach statistischen Gesetzmäßigkeiten zum Zweck spezieller Untersuchungen (z. B. Bauelementeprüfung auf Zuverlässigkeit). Aufgrund der hohen Produktionsstückzahlen von IS können Bauelementeprüfungen nicht an allen IS durchgeführt werden, bzw. es sind nicht alle Funktionen prüfbar (z. B. beim Wafertester). Daher werden statistische Untersuchungen an einzelnen Bauelementen durchgeführt (Zuverlässigkeit) bzw. Meßwertverfahren ausgewählt, die sichere Aussagen bei minimalem Meßaufwand liefern (Wafertester).
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