Techniklexikon

Silicid

Verbindung von Silicium mit Metallen, die als Werkstoff für Leitbahnen eingesetzt wird. Besondere Bedeutung haben in der Silicium-technik die S. von Schwermetallen wie Titan, Wolfram und Molybdän. Silicidschichten werden durch CVD, Aufdampf- oder Sputtertechnik auf dem Wafer abgeschieden. Meist werden durch nachfolgendes Tempern die Schichteigenschaften verbessert. S. lassen sich mit den gleichen Verfahren wie Polysilicium strukturieren (Strukturierung), haben jedoch niedrigere Leitungswiderstände als dieses, so daß sie besser zur Metallisierung bei VLSI geeignet sind.