Optik, Variante des Röntgenmikroskops, bei der das Objekt nicht als Ganzes abgebildet, sondern Punkt für Punkt abgetastet wird. Gegenüber normalen Röntgenmikroskopen wird das Objekt einer sehr viel geringeren Strahlendosis ausgesetzt, indem die gesamte durch das Objekt durchgehende Strahlung zum Bildaufbau genutzt wird (siehe Abb.). Die Strahlung einer möglichst monochromatischen und kohärenten Röntgenquelle (z.B. Undulatoren) wird mittels einer Zonenplatte fokussiert. Das Objekt wird schrittweise durch den Fokus bewegt und die transmittierte Strahlung direkt detektiert. Der Detektor muss keine abbildenden Eigenschaften besitzen. Die eigentliche Abbildung wird von einem Computer aus den Rasterpunkten zusammengesetzt.
Rasterröntgenmikroskop: Vereinfachtes Schema des Rasterröntgenmikroskops: Q Quelle oder Lochblende, Z Zonenplatte, O Objekt, D Detektor, B Bildschirm, R mechanische Rastereinrichtung.
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