Techniklexikon

piezoresistiver Effekt

Elektrodynamik und Elektrotechnik, Piezowiderstand, die Änderung des elektrischen Widerstandes unter dem Einfluss mechanischer Spannungen. Bei kleinen Änderungen kann er als Tensor vierter Stufe beschrieben werden. Symmetrieeigenschaften eines Kristalls reduzieren die Zahl unabhängiger Kompenenten. Die Elastoleitfähigkeit liefert eine äquivalente Beschreibung desselben Effekts. Hohe Werte einer Komponente des Piezowiderstandstensors (etwa bei n-Si, n-SiC, n-Ge, p-Si, p-Ge oder p-GaAs) ermöglichen eine industrielle Anwendung als Halbleiterdrucksensor oder -dehnungsmesser. Der Piezowiderstand ist bei reinen Halbleitern und schwachen Feldern umgekehrt proportional zur Temperatur; Dotierung schwächt diese Abhängigkeit ab.