Techniklexikon

Nanotechnologie

Elektronik, Halbleiterphysik, Nanostrukturtechnik, Sammelbegriff für verschiedenen Technologien zur Manipulation von Materie im Nanometerbereich. Vor allem im Zusammenhang mit Halbleitertechnik verwendet, umfasst die Nanostrukturtechnik Methoden der Lithographie und nachfolgender Prozessschritte im Nanometerbereich. Ziel der Nanostrukturtechnik ist die Herstellung und Untersuchung von Funktionseinheiten oder Bauelementen mit Abmessungen im Bereich einiger Nanometer. Die Nanoelektronik wird als die Nachfolgerin der Mikroelektronik verstanden, bei der die wesentlichen physikalischen Prozesse in einem Bauelement noch klassisch ablaufen. Für Bauteile auf der Nanometerskala werden neuartige, auf quantenmechanischen Effekten beruhende Phänomene erwartet und im Labor auch bereits beobachtet. Einsatz findet die Nanostrukturtechnik auch in der Biologie und der Chemie sowie in neuen Disziplinen, die auf einer Synthese dieser klassischen Wissenschaften beruhen.