Techniklexikon

Mikromechanik

Sich analog zur Mikroelektronik entwickelnde Technologie zur Herstellung preisgünstiger mechanischer Bauelemente im Millimeter- und Mikrometerbereich. Dabei werden die bei der Fertigung elektronischer Bauelemente gewonnenen Erfahrungen mit genutzt. Plasmaphysik, Magnetohydrodynamik, Herstellung und Anwendung von mechanischen Systemen mit Abmessungen im Mikrometerbereich. Mikromechanische Strukturen finden immer weitere Einsatzgebiete, z. B. in der Mikrosensorik, bei Aktoren und für Komponenten der Mikromotorik. Für die Herstellung solcher Strukturen, die mit klassischen Fertigungsverfahren nicht mehr bearbeitbar sind, werden die ursprünglich für die Fertigung von Halbleiterkomponenten entwickelten Verfahren wie Lithographie, Abscheide-, Ätz- und Dotiertechniken eingesetzt. Besondere Verbreitung hat z. B. das LIGA-Verfahren zur Herstellung von Mikrostrukturen aus Kunstoff gefunden.