Techniklexikon

LIGA-Verfahren

nach den Prozessschritten Lithographie, Galvanoformung, Abformung benanntes, Anfang der 80erJahre entwickeltes Verfahren zur kostengünstigen Herstellung von Mikrokomponenten. Im ersten Schritt wird ein strahlungsempfindliches Polymer durch eine Röntgenmaske mit weisser Synchrotronstrahlung bestrahlt und entwickelt, wobei die bestrahlten Bereiche mit speziellen Entwicklern aus dem Polymer herausgelöst werden. Durch Galvanisation wird anschliessend ein Metall in die herausgelösten Bereiche abgeschieden und das restliche Polymer entfernt. Die entstandene Metallstruktur wird als Formeinsatz für die Massenproduktion dieser Mikrostruktur verwendet, die sich durch hohe räumliche Auflösung und Parallelität der Strukturwände auszeichnet.