Matsunami-Ansatz
Autor:
Karl-Wilhelm Steinfieber
Karl-Wilhelm Steinfieber
semiempirische Formel zur Bestimmung von Zerstäubungskoeffizienten. Sie findet Einsatz in der Ionenimplantation und dient zur vorläufigen Bestimmung der Ionenstrahlzerstäubung während der Implantation.
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