grösstenteils mikromechanisch gefertigte Sensoren zum Nachweis von geringen Gasmengen. Gassensoren sind häufig für ein Gas oder eine Gasklasse ausgelegt. In der Regel werden die chemischen Reaktionen der Gase mit auf der Oberfläche des Sensors angebrachten Substanzen genutzt, um chemische Veränderungen in mechanische, optische oder elektrische Antworten umzusetzen. Z.B. erfolgen die Messungen von Abgasen im Autoauspuff und die damit verbundene Optimierung des Kraftstoffgemischs mit der sogenannten Lambda-Sonde. Die Messung beruht auf dem Prinzip der Ionenleitung, wobei als Material dotiertes Zirconiumdioxid verwendet wird. Die Elektroden des Sensors bestehen aus Platin, wobei bei veränderter Sauerstoffkonzentration die Spannung an den Elektroden variiert.
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