Interferenzerscheinungen von Elektronen, die mittels Beschreibung der Elektronen als Materiewellen verstanden werden können. Diese Materiewellen werden wie Röntgenwellen nach den Interferenzgesetzen in einem Kristall gestreut. Bei Elektronen beruht die Ablenkung auf ihrer Coulomb-Wechselwirkung mit der Hülle der Atome. Elektronen werden viel stärker gestreut als Röntgenquanten, das heisst, die Intensität der Reflexe ist etwa 108 Mal so gross. Die Elektronen dringen jedoch nicht so tief in das Material ein wie Röntgenstrahlen. Deshalb kann man mit Elektronenstreuung nur dünne Schichten und Oberflächen charakterisieren.
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