Techniklexikon

Elektron-Zyklotron-Resonanz-Ionenquelle

Plasmaphysik, Magnetohydrodynamik, EZR-Ionenquelle, ECR-Ionenquelle, eine in den 60er und 70er Jahren entwickelte spezielle Ionenquelle, in der durch wiederholte Elektronenstossionisation hochgeladene Ionen erzeugt werden.

In einem durch Spulen und Permanentmagnete erzeugten Multipolmagnetfeld mit axialer Begrenzung wird durch Mikrowelleneinkopplung Energie auf die im Plasma befindlichen Elektronen transferiert. Ist die Elektron-Zyklotron-Resonanzbedingung erfüllt, können dabei Elektronenenergien zwischen 1 und 10 keV und hierdurch hohe Ladungszustände der Ionen erreicht werden. Da die Ionen bei dem Prozess nicht aufgeheizt werden, lassen sich nach einer Ionenextraktion Strahlströme bis zu einigen 100 A erzielen.