Methode zur Untersuchung von Desorptionsvorgängen und chemischen Reaktionen an Oberflächen. Den adsorbierten Molekülen oder Atomen wird Energie zugeführt, so dass die Bindungen aufgebrochen und die Teilchen in die Dampfphase übergehen können. Dort werden sie i.a. mit massenspektroskopischen Methoden nachgewiesen. Am weitesten verbreitet ist die thermische Desorptionsspektroskopie (TDS), d.h. kontrolliertes Heizen der Probe und quantitative Erfassung der Menge der desorbierten Teilchen. Weitere Methoden sind die Ionenstossdesorption (IID, ion impact desorption) und die Photodesorption (PD), bei der die Anregung von Adsorbatelektronen oder von Molekülschwingungen zur Desorption führt. Die Felddesorption (FD) erfolgt aufgrund der durch das angelegte Feld geänderten Adsorptionspotentiale. Elektronenstossdesorption (ESD) wird durch Übergang des Adsorbats in angeregte oder Ionisationszustände nach Elektronenbeschuss hervorgerufen. Desorptionsexperimente ermöglichen Aussagen über die Existenz verschiedener Adsorptionszustände, die Übergänge zu angeregten Adsorptionszuständen, den Bedeckungsgrad, die Adsorptionsgeometrie und die Desorptionsenergien der adsorbierten Spezies.
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