in der Vakuumtechnik das Freisetzen von Gasmolekülen, die in festen Bauteilen einer Vakuumapparatur gelöst (absorbiert, okkludiert) sind. Sowohl Absorption als auch Ausgasung sind Diffusionsprozesse (Diffusion). Die Freisetzung von an der Oberfläche adsorbierten Teilchen heisst Desorption; beide Prozesse werden im Begriff Entgasen zusammengefasst.
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