Vorvakuum
Autor:
Martina Wagner
Martina Wagner
Vakuumtechnik, im Hochvakuum- und Ultrahochvakuumbereich ein von einer Vorpumpe auf niedrigen Druck gebrachter Bereich, von dem ausgehend der Enddruck mithilfe einer hochempfindlichen Hauptpumpe, etwa einer Turbomolekular-, Ionengetter- oder Kryopumpe, erzeugt wird.
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