Techniklexikon

Thermokompressionsbonden

TC-Bonden. Drahtbonden mit Hilfe von Temperatur und Druck. Das T. ist ein Preßschweißverfahren, bei dem durch Temperatur (um 300 °C) und Druck Bonddraht und Bondinselmaterial sich an den Berühmngsstellen miteinander verbinden. Durch Erhöhen der Temperatur kann der notwendige Druck verringert werden. Zu hohe Temperatur begünstigt Bauelementeausfälle. Beim Thermosonicbonden können beide Parameter reduziert werden (Temperatur 100 bis 180°C). Die fehlende Energie wird durch Ultraschallanregung ersetzt. Dadurch erhöhen sich die Zuverlässigkeit des Verfahrens und des Bauelements. Entsprechend der Ausführung des Stempels, der Drahtzuführung zum Stempel und der Technik für das Trennen des Bonddrahts wird eine Vielzahl von Verfahrensvarianten unterschieden. Besonders gut eignet sich Goldbonddraht für das T.