Festkörperphysik, schnelle und ökonomische Methode zur quantitativen Bestimmung der Elementzusammensetzung einer Probe. Röntgenspektrometrie unterscheidet sich von optischer Spektroskopie dadurch, dass die Röntgenphotonen Energien von einigen tausend eV haben und aus den fest gebundenen, inneren Elektronenschalen der Atome kommen. Die Methode unterscheidet sich auch von Röntgenstreuung, die sich mit der Identifikation von Kristallzuständen beschäftigt.
Die Bestrahlung der Probe mit hochenergetischen Elektronen, Protonen oder Photonen ionisiert einige der Probenatome, die dann gemäss den Auswahlregeln der Atomphysik charakteristische Röntgenstrahlung emittieren. Die weitere Analyse der Strahlung wird mittels Röntgenspektralanalyse durchgeführt. Bei dem Verfahren entstehen ausserdem auch Auger-Elektronen (Auger-Effekt), die sich ebenfalls untersuchen lassen.
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