Techniklexikon

RHEED

Festkörperphysik, Reflected High Energy Electron Diffraction, HEED, wie LEED eine moderne Methode zur Untersuchung von Festkörperoberflächen. Es wird mit hochenergetischen Elektronen von etwa 40 keV gearbeitet, die wegen der kleinen Beugungswinkel streifend auf die Oberfläche fallen, wodurch gleichzeitig gewährleistet ist, dass die auftreffenden Elektronen vorwiegend mit den obersten Atomlagen der Festkörperoberfläche in Wechselwirkung treten. In der Regel wird RHEED dann angewendet, wenn relativ starke Adsorptionsschichten oder z.B. Oxidschichten an Metalloberflächen untersucht werden sollen. RHEED-Systeme werden als separate Instrumente gebaut oder sind mit LEED-Systemen und Auger-Systemen kombiniert.