Techniklexikon

Reinraumtechnik

Unter diesem Begriff faßt man alle technischen und sonstigen Bemühungen zusammen, die ein Milieu schaffen, in dem die Anzahl von Partikeln oder Mikroorganismen je Raumeinheit kontrolliert klein gehalten wird. Reine atmosphärische Luft enthält je Liter rund 100000 Partikel, die größer sind als 0, 3 m (tausendstel Millimeter). Als partikelfrei bezeichnet man im allg. Luft mit weniger als einem Teilchen je Liter, das größer ist als 0, 3 m. Sog. Hochleistungs-Schwebstoffilter aus feinsten Glasfasern weisen für 0, 3 m große Aerosolpartikel (Aerosole) einen Durchlaßgrad von 0, 03 % auf. Menschen, die in einem Reinraum arbeiten, tragen Reinraumkleidung. Trotz aller r. technischen Maßnahmen ist in Arbeitsräumen bestenfalls die Reinheitsklasse 5 erreichbar, die durch eine Beladung je Liter Luft mit weniger als 400 Partikeln größer als 0, 5 m und weniger als drei Partikeln größer als 5 m definiert ist. Größere Reinheiten lassen sich nur an eng begrenzten Arbeitsplätzen erzielen. Inwieweit die Speicherdichte der sog. Mega-Chips (Chip) künftig erhöht werden kann, hängt u. a. von weiteren Fortschritten in der R. ab.