Festkörperphysik, Oberflächenbehandlung, gezielte Einstellung von physikalischen (z. B. Oberflächenrauhigkeit) und chemischen (chemische Struktur) Oberflächeneigenschaften von festen Materialien durch äussere Einwirkung (Licht, Wärme, Elektronen, Ionen) oder durch das Aufbringen weiterer Materialien (Beschichtung). Bei der Oberflächenpassivierung erfolgt eine Verringerung der chemischen Aktivität der Oberfläche. Beim Oberflächenabtrag erfolgt eine allgemeine oder selektive Entfernung von Atomen bzw. Molekülen aus der Materialoberfläche. Die Oberflächenveredelung kann als die Modifizierung von Festkörperoberflächen in Richtung für die technische Anwendung vorteilhafter Eigenschaften (mechanische Härte, Korrosionsschutz) angesehen werden.
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