Techniklexikon

Mesa-Transistor

Transistor, der nach Verfahren der satechnik hergestellt wird. Die Mesatechnik wurde früher zur Herstellung bipolarer Germaniumtransistoren (Transistor, bipolarer) genutzt. Als die Planartechnik noch nicht beherrscht wurde, ätzte man mittels Mesatechnik die einzelnen Transistorstrukturen bis auf das Substrat auseinander (Isolationstechnik), da gebrochene pn-Übergänge einen hohen Sperrstrom aufweisen. In der modernen Elektronik mit Silicium (Si) und Galliumarsenid (GaAs) als Halbleiterwerkstoffe wird auch heute noch die Mesatechnik teilweise angewendet, z. B. zur Herstellung von Epibasis-M. (Epibasis-Transistor) bzw. von GaAs-FET mit sehr guten Hochfrequenzeigenschaften, da durch das Ätzen kleine Bauelementestrukturen und damit sehr gute dynamische Eigenschaften erreicht werden.