Chem. oder elektrolytische (Elektrolyse) Behandlung metallischer Oberflächen mit Hilfe von Säuren oder Laugen (Alkalien), wobei das Material örtlich angegriffen und abgetragen wird. Damit werden Werkstückoberflächen oder Teile von ihnen (soweit sie nicht durch Schutzschichten vor dem Angriff des Ätzmittels geschützt sind) für eine Veredlung, wie Verchromen (Chrom), vorbereitet. Vom Ä. ist das Beizen zu unterscheiden. in der Halbleitertechnik die Veränderung von Oberflächen, meist das Abtragen bestimmter Schichten, durch chemische und physikalische Ätzverfahren.
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