konvergente Elektronenbeugung
Petra Nordinghaus-Martin
Convergent Beam Electron Diffraction (CBED), lokales Verfahren der analytischen Elektronenmikroskopie (AEM, Elektronenmikroskopie, analytische) zur Ermittlung von Kristallsymmetrie, Gitterparametern und Schichtdicken. Es wird hierbei ein Elektronenstrahl auf das Untersuchungsgebiet fokussiert und das dabei in Transmission entstehende Beugungsbild beobachtet. Aufgrund der Konvergenz des einfallenden Elektronenstrahls bildet sich kein punktförmiges, sondern ein kreisförmiges Beugungsmuster.
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