Techniklexikon

Kompositschichten

dünne Schichten oder dicke Schichten, die durch die Vermischung von zwei oder mehreren Grundbestandteilen entstehen, die jedoch noch mit ihren ursprünglichen Festkörpereigenschaften vorliegen. Bei Nanokompositschichten liegt einer der beiden Grundbestandteile in Form von dispersiven Partikeln mit Abmessungen im Nanometerbereich vor. Kompositdünnschichten besitzen eine Mikrostruktur, die durch die räumliche Verteilung, Grösse und Form der dispersiven Grundbestandteile sowie der Materialien der Grundbestandteile selbst bestimmt wird. Weiterhin müssen innere Grenzflächen zwischen den Grundbestandteilen sowie bei Kompositdünnschichten zudem die Grenzflächen zum Substrat und die Oberfläche mit für die Beschreibung der Mikrostruktur berücksichtigt werden.

Der Füllfaktor f quantifiziert den Anteil eines Grundbestandteils an der gesamten Kompositschicht und kann sowohl als Massenfüllfaktor f_M oder als Volumenfüllfaktor f_V angegeben werden, wobei dies nur bei Kompositschichten sinnvoll ist, die sowohl lateral als auch vertikal keine nennenswerten Gradienten in den Volumen- oder Massenanteilen der Grundbestandteile aufweisen.

Zu den Kompositschichten werden u.a. gezählt: Keramik-Metall-Compositschichten (Cermets), metallgefüllte Isolatorschichten (Metall-Isolator-Kompositschichten), stöchiometrische Metalloxid-Metalloxid-Mischschichten (Garnet-Schichten) sowie auch Metall-Halbleiter-Kompositschichten, und Metall-Metall-Kompositschichten.