Techniklexikon

Ionenrastermikroskop

ermöglicht mikroskopische Untersuchungen, bei denen anstelle von sichtbarem Licht oder Elektronen schwere Ionen zur Beleuchtung des Objekts verwendet werden. Analog zum Raster-Elektronenmikroskop werden die aus einer punktförmigen Quelle ausgehenden Ionen mit einer magnetischen oder elektrischen Linse auf die Probe fokussiert. Man bezeichnet solche Anordnungen auch als Mikrosonden. Mikrosonden, die Ionen mit keV-Energien verwenden, benutzen als Quellen meist Feldemissionsquellen (Feldemission) und erreichen daher Auflösungen und Ströme, die mit Raster-Elektronenmikroskopen vergleichbar sind. Mikrosonden im MeV-Bereich benötigen hingegen einen Beschleuniger und erzielen bestenfalls eine Auflösung von 100 nm, haben jedoch den Vorteil, dass die grosse Vielfalt atom- und kernphysikalischer Effekte für die Bilderzeugung genutzt werden kann. Sie finden bei Untersuchungen von Strahleneffekten in Biologie und Mikroelektronik Anwendung. Mikrosonden mit MeV-Protonenstrahlen werden hauptsächlich für die Spurenelementanalyse eingesetzt.